GB/T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法 现行

标准号：GB/T 17864-1999
中文标准名称：关键尺寸(CD)计量方法
英文标准名称：CD Metrology procedures
标准状态：现行,发布于1999-09-13; 实施于2000-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1999-09-13
实施日期：2000-06-01
中国标准分类号：31.200
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院微电子中心
采标情况：本标准等同采用其他国际标准：SEMI P24:1994。
采标中文名称:。
相近标准：20154013-T-469 用于测量关键尺寸（CD）的扫描电子显微镜(SEM)参数描述及术语规范; 用于测量关键尺寸（CD）的扫描电子显微镜(SEM)参数描述及术语规范; JB/T 5900-1991 通用锻制模块毛坯尺寸及计量方法; GB/T 9110-1988 原油立式金属罐计量 油量计量方法; SJ/T 10502-1994 CD5型矩形插头座; GB/T 17576-2011 CD数字音频系统; GB/T 17576-1998 CD数字音频系统; 20062669-T-339 CD数字音频系统; SJ/T 11321-2006 DVD/CD只读光头通用技术规范; CY/T 37-2001 可记录光盘（CD-R）产品外观标识