GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼 被代替

标准号：GB/T 17874-1999
中文标准名称：电子工业用气体 三氯化硼
英文标准名称：Gases for electronic industry--Boron trichloride
标准状态：被代替,发布于1999-09-16; 实施于2000-06-01; 被代替于2011-05-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1999-09-16
实施日期：2000-06-01
中国标准分类号：71.100.20
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：光明化工研究设计院
被以下标准代替：被GB/T17874-2010GB/T17874-2010全部代替
相近标准：GB/T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼; 20081119-T-469 电子工业用气体 三氯化硼; GB/T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢; 20111285-T-469 电子工业用气体 氯化氢; GB/T 14602-1993 电子工业用气体 氯化氢; GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷; GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯; GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨; GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩; GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮