GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢 被代替

标准号：GB/T 16942-1997
中文标准名称：电子工业用气体 氢
英文标准名称：Gases for electronic industry--Hydrogen
标准状态：被代替,发布于1997-08-13; 实施于1998-05-01; 被代替于2010-05-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1997-08-13
实施日期：1998-05-01
中国标准分类号：71.100.20
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：化学工业部西南化工研究院
被以下标准代替：被GB/T16942-2009GB/T16942-2009全部代替
采标情况：本标准等效采用ITU国际标准：SEMI C3.19:1993。
采标中文名称:。
相近标准：GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷; GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯; GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨; GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩; GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮; GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧; GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢; GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦; GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦; GB/T 16945-1997 电子工业用气体 氩