GB/T 16595-1996 晶片通用网格规范 被代替

标准号：GB/T 16595-1996
中文标准名称：晶片通用网格规范
英文标准名称：Specification for a universal wafer grid
标准状态：被代替,发布于1996-11-04; 实施于1997-04-01; 被代替于2020-02-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1996-11-04
实施日期：1997-04-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国有色金属工业总公司
被以下标准代替：被GB/T16595-2019GB/T16595-2019全部代替
采标情况：本标准等效采用其他国际标准：SEMI M17:1990。
采标中文名称:。
相近标准：GB/T 16595-2019 晶片通用网格规范; 20162489-T-469 晶片通用网格规范; 晶片通用网格规范; GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范; GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范; 20162491-T-469 确定晶片坐标系规范; 确定晶片坐标系规范; GB/T 15713-1995 锗单晶片; JB/T 5475-1991 网格板; DB35/T 1808-2018 城乡社区网格员工作规范