GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则 现行

标准号：GB/T 15873-1995
中文标准名称：半导体设施接口技术文件编写导则
英文标准名称：Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
标准状态：现行,发布于1995-12-22; 实施于1996-08-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
中国标准分类号：31.220.10
国际标准分类号：31.220.10
归口单位：工业和信息化部（电子）
执行单位：工业和信息化部（电子）
主管部门：工业和信息化部（电子）
起草单位：中国华晶电子集团公司
采标情况：本标准非等效采用其他国际标准：SEMI E6:1992。
采标中文名称:。
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