GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

标准号：GB/T 27760-2011
中文标准名称：利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
英文标准名称：Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic steps
标准类型：N04
发布日期：2011/12/30 12:00:00
实施日期：2012/5/1 12:00:00
中国标准分类号：N04
国际标准分类号：19.020
引用标准：ISO 25178-6-2010;ISO/IEC Guide 98-3-2008;ISO/TS 21748-2004
适用范围：本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。 本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到*大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。 本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。