GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

标准号：GB/T 1557-2006
中文标准名称：硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
英文标准名称：The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
标准类型：H17
发布日期：2006/7/18 12:00:00
实施日期：2006/11/1 12:00:00
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040.01
引用标准：GB/T 14264;ASTM E 131
适用范围： 本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω•cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω•cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。 本标准测量氧含量的有效范围从1×10