GB/T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

百检网 2021-07-14

标准号：GB/T 16879-1997
中文标准名称：掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
英文标准名称：Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment
标准类型：L97
发布日期：1997/6/20 12:00:00
实施日期：1998/3/1 12:00:00
中国标准分类号：L97
国际标准分类号：31.020
适用范围：本准则规定了在表示掩模曝光设备的精密度和准确度时应遵循的一般要求。掩模曝光设备的图形曝光精密度和准确度是通过测量制成的掩模来评估的，掩模制造过程中的工艺条件对它有很大影响。所以，曝光条件应经厂家和用户双方同意。

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