GB/T 29556-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定

标准号：GB/T 29556-2013
中文标准名称：表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
英文标准名称：Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution,analysis area, and sample area viewed by the analyser
标准类型：方法
实施日期：20140301
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
适用范围：本标准规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测量方法。本标准适用于俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器的检测。
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(TC38)
主管部门：国家标准化管理委员会(469)
起草单位：厦门爱劳德光电有限公司、清华大学化学系、中国科学院化学所
起草人：王水菊、岑丹霞、姚文清、李展平、刘芬