20210891-T-469 多晶硅表面金属杂质含量测定酸浸取-电感耦合等离子体质谱法正在起草

百检网 2021-07-16

标准号：20210891-T-469
中文标准名称：多晶硅表面金属杂质含量测定酸浸取-电感耦合等离子体质谱法
英文标准名称：Test method for surface metal impurity content of polycrystalline silicon —— Acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry method
标准状态：正在起草
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：亚洲硅业（青海）股份有限公司
相近标准：多晶硅表面金属杂质含量测定酸浸取-电感耦合等离子体质谱法;20073569-T-469 酸浸取电感耦合等离子质谱仪
标准制修订：修订

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