标准号：GB/T 31058-2014
中文标准名称：电子工业用气体 四氟化硅
英文标准名称：Gases for electronic industry.Silicon tetrafluoride
标准类型：G86
发布日期：2014/12/22 12:00:00
实施日期：2015/7/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
适用范围：本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二*管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料,也是生产多晶硅的重要原料。分子式:SiF
GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅
百检网 2021-07-19
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