GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量.红外吸收测量方法

标准号：GB/T 1558-2009
中文标准名称：硅中代位碳原子含量.红外吸收测量方法
英文标准名称：Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption
标准类型：H80
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/6/1 12:00:00
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
引用标准：GB/T 6618-2009;GB/T 14264-2009
适用范围：本标准规定了硅中代位碳原子含量的红外吸收测量方法。本标准适用于电阻率高于3Ω•cm的p型硅片及电阻率高于1Ω•cm的n型硅片中代位碳原子含量的测定，对于精密度要求不高的硅片，可以测量电阻率高于0.1Ω•cm的硅片中代位碳原子含量。由于碳也可能存在间隙位置，因而本方法不能测定总碳含量。也适用于硅多晶中代位碳原子含量测定，但其晶粒界间区的碳同样不能测定。