标准号：GB/T 32278-2015
中文标准名称：碳化硅单晶片平整度测试方法
英文标准名称：Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2015/12/10 12:00:00
实施日期：2017/1/1 12:00:00
中国标准分类号：中国科学院物理研究所
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京天科合达蓝光半导体有限公司
起草人：张玮
相近标准：20120289-T-469 碳化硅单晶片平整度测试方法;GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法;2009
GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法 现行
百检网 2021-07-19
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