GB/T 34894-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法 现行

百检网 2021-07-19
标准号:GB/T 34894-2017
中文标准名称:微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
英文标准名称:Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
标准状态:现行
标准类型:国家标准
发布日期:2017/11/1 12:00:00
实施日期:2018/5/1 12:00:00
中国标准分类号:天津大学
国际标准分类号:31.200
归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:中机生产力促进中心
起草人:朱悦
相近标准:20120467-T-469  微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法;GB/T 34900-

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