DIN50450-2-1991 半导体技术的材料检验.载气体和掺杂气体中杂质的测定.用原电池测定氮,氩,氖和氢中的氧杂质

百检网 2021-07-21
标准号:DIN50450-2-1991
中文标准名称:半导体技术的材料检验.载气体和掺杂气体中杂质的测定.用原电池测定氮,氩,氖和氢中的氧杂质
英文标准名称:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;determinationofimpuritiesincarriergasesanddopinggases;determinationofoxygenimpurityinN,Ar,He,NeandHbyusingagalvaniccell
中国标准分类号:L90
国际标准分类号:71.100.20

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