标准号：ISO25178-603-2013
中文标准名称：产品几何量技术规范(GPS)表面结构：区域第603部分：非接触式(相移干涉显微镜)仪器的标称特性
英文标准名称：Geometricalproductspecifications(GPS)-Surfacetexture:Areal-Part603:Nominalcharacteristicsofnon-contact(phase-shiftinginterferometricmicroscopy)instruments
中国标准分类号：J04
国际标准分类号：17.040.20
ISO25178-603-2013 产品几何量技术规范(GPS)表面结构：区域第603部分：非接触式(相移干涉显微镜)仪器的标称特性
百检网 2021-07-23
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