GB/T 18994-2003 电子工业用气体高纯氯

百检网 2021-07-29

标准号：GB/T 18994-2003
中文标准名称：电子工业用气体高纯氯
英文标准名称：Gases for electronic industry--High purity chlorine
标准类型：国家标准
发布日期：2003/3/5 12:00:00
实施日期：2003/8/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：光明化工研究设计院
相近标准： ;GB/T 18994-2014 ;20111284-T-469 电子工业用气体高

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