标准号：20062751-T-469
中文标准名称：电子工业用气体 三氟化硼
英文标准名称：Gases for electronic industry - Boron trifluoride
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：大连光明化工研究院
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：核工业理化工程研究院
起草人：邓建平
相近标准：GB/T 14603-1993 电子工业用气体 三氟化硼;GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼;20
标准制修订：修订
20062751-T-469 电子工业用气体 三氟化硼 已发布
百检网 2021-07-29
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