GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

标准号：GB/T 32817-2016
中文标准名称：半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
英文标准名称：Semiconductor devices.Micro-electromechanical devices.Generic specification for MEMS
标准类型：L55
发布日期：2016/8/29 12:00:00
实施日期：2017/3/1 12:00:00
中国标准分类号：L55
国际标准分类号：31.080.99
引用标准：GB/T 2423;GB/T 2424;GB/T 2828.1;GB 3100;GB/T 4728;GB/T 4937;GB/T 26111;IEC 60027;IEC 60747-1-2006;IEC 61193-2;IECQ 03-3-2013
适用范围：本标准描述了用半导体制造的微机电系统(MEMS)的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统(Micro-TAS)和微能源MEMS]。