GB/T 31987-2015 电子工业用气体锗烷

百检网 2021-07-29

标准号：GB/T 31987-2015
中文标准名称：电子工业用气体锗烷
英文标准名称：Gas for electronic industry.Germane
标准类型：G86
发布日期：2015/9/11 12:00:00
实施日期：2016/5/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
适用范围：本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。分子式：GeH

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