IEC 62047-17-2015 半导体器件微型机电装置第17部分:测量薄膜机械性能的膨胀试验方法 A

百检网 2021-07-30

标准号：IEC 62047-17-2015
中文标准名称：半导体器件微型机电装置第17部分:测量薄膜机械性能的膨胀试验方法
英文标准名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (Edition 1.0)
标准状态：A
标准类型：国际标准
国际标准分类号：31.080.99

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