GB/T 22462-2008 钢表面纳米、亚微米尺度薄膜.元素深度分布的定量测定.辉光放电原子发射光谱法

标准号：GB/T 22462-2008
中文标准名称：钢表面纳米、亚微米尺度薄膜.元素深度分布的定量测定.辉光放电原子发射光谱法
英文标准名称：Nano,Sub-micron scale film on steel.Quantitative depth profile analysis.Glow discharge atomic emission spectrometry
标准类型：G04
发布日期：2008/10/30 12:00:00
实施日期：2009/6/1 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：17.180
引用标准：GB/T 6379.1;GB/T 6379.2;GB/T 19502;GB/T 20066;GB/T 22461-2008;ISO 5725-3;ISO 6955-1982
适用范围：本标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜（金属镀膜和氧化膜）中膜厚、镀层质量（单位面积）和薄膜中的元素深度分布。本方法适用于测定3nm~1000nm厚度的钢表面薄膜，适用的元素包括：铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。