GB/T 28632-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.横向分辨率测定

标准号：GB/T 28632-2012
中文标准名称：表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.横向分辨率测定
英文标准名称：Surface chemical analysis.Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy.Determination of lateral resolution
标准类型：G04
发布日期：2012/7/31 12:00:00
实施日期：2013/2/1 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
引用标准：GB/T 22461-2008
适用范围：本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适用于横向分辨率预期值大于20nm，小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。