DIN EN ISO 14644-5-2005 洁净室和相关控制环境.第5部分:操作

百检网 2021-08-05
标准号:DIN EN ISO 14644-5-2005
中文标准名称:洁净室和相关控制环境.第5部分:操作
英文标准名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations (ISO 14644-5:2004); German version EN ISO 14644-5:2004
标准类型:C46
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:C46
国际标准分类号:13.040.35
适用范围:This part of International Standard ISO 14644 specifies basic requirements for operating cleanrooms and associated controlled environments to meet their levels for cleanliness. This cleanroom standard does not specify levels of cleanliness nor the methods or means for attaining the desired level. However, annexes provide further guidance. It is intended for those planning to use and operate a cleanroom.#,,#

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