ASTM F1845-1997 用高质量减少辉光放电质谱仪测量电子级铝铜、铝硅和铝铜硅中微量金属杂质的标准试验方法

硅 YS/T 871-2013 高纯铝化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法

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镁、铝、硅、硫、铁、镍、铜、锌、砷、银、镉、锡、铊、铅 YS/T 981.1-2014 高纯铟化学分析方法 镁、铝、硅、硫、铁、镍、铜、锌、砷、银、镉、锡、铊、铅的测定 高质量分辨率辉光放电质谱法

铁、铝、硅、铜 GB/T 4702.6-2016 金属铬 铁、铝、硅和铜含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

硅、铁、铜、锰、镁、铬、镍、锌、钛、镓、钒、锆、铍、铅、锡、镧、铈、钙、锑、铋、汞、镉、砷、钠、钾、银、钼、铀、钍 ASTM F1593-2008(2016) 用高质量分辩率辉光放电质谱仪测定电子级铝中痕量金属杂质的试验方法

表面金属杂质含量(钾、钠、钙、镁、铝、铬、铁、镍、铜、锌) GB/T 24582-2009 酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质