DB14/T 1654-2018 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

百检网 2021-08-06
标准号:DB14/T 1654-2018
中文标准名称:氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
英文标准名称:Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope
标准类型:国家标准
发布日期:2015/12/10 12:00:00
实施日期:2016/11/1 12:00:00
中国标准分类号:苏州纳维科技有限公司
国际标准分类号:77.040
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
起草人:刘争晖
相近标准:20120267-T-469  氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法;GB/T 31227-2014  原子力显微镜测量

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