DB14/T 1028-2014 集成电路用 铝腐蚀液 现行

百检网 2021-08-06
标准号:DB14/T 1028-2014
中文标准名称:集成电路用 铝腐蚀液
标准状态:现行
标准类型:行业标准
发布日期:2015/4/30 12:00:00
实施日期:2015/10/1 12:00:00
中国标准分类号:工业和信息化部电子工业标准化研究院
国际标准分类号:31.030
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:工业和信息化部
起草单位:江阴润玛电子材料股份有限公司
起草人:王周霞
相近标准:GB/T 12842-1991  膜集成电路和混合膜集成电路术语;SJ/T 11507-2015  集成电路用 氧化层缓冲腐蚀液
行业分类:无

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