20080028-T-469 300mm 硅单晶抛光片 已发布

百检网 2021-08-06
标准号:20080028-T-469
中文标准名称:300mm 硅单晶抛光片
英文标准名称:300mm polished monocrystalline silicon wafers
标准状态:已发布
标准类型:国标计划
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:中国有色金属工业标准计量质量研究所
国际标准分类号:29.045
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:有研半导体材料股份有限公司
起草人:闫志瑞
相近标准:GB/T 29506-2013  300mm 硅单晶抛光片;GB/T 12964-2003  硅单晶抛光片;GB/T 12964
标准制修订:制订

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