YS/T 718-2009 平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶 现行

百检网 2021-08-06
标准号:YS/T 718-2009
中文标准名称:平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶
标准状态:现行
标准类型:行业标准
发布日期:2009/12/4 12:00:00
实施日期:2010/6/1 12:00:00
中国标准分类号:H63
国际标准分类号:77.150.99
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
主管部门:工业和信息化部
起草单位:利达光电股份有限公司
起草人:李智超
相近标准:YS/T 719-2009  平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶;YS/T 819-2012  电子薄膜用高纯铜溅射靶材;YS/T

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