GB/T 34481-2017 低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法现行

百检网 2021-08-06

标准号：GB/T 34481-2017
中文标准名称：低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法
英文标准名称：Test method for measuring etch pit density (EPD) in low dislocation density monocrystalline germanium slices
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2017/10/14 12:00:00
实施日期：2018/7/1 12:00:00
中国标准分类号：云南临沧鑫圆锗业股份有限公司
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：云南中科鑫圆晶体材料有限公司
起草人：惠峰
相近标准：20141872-T-469 低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法;20021940-T-610 锗单晶位错腐蚀

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