电子级用水检测

1、 范围

GB/T 11446.1-2013 的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检测规则。

本部分使用与电子和半导体工业永高纯清洗用水。

2、水质标准

项目

技术指标

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

EW-Ⅲ

EW-Ⅳ

电阻率（25℃）/

MΩ·cm

≥18
（5%时间不低于17）

≥15
（5%时间不低于13）

≥12

≥0.5

全硅/（μg/L）

≤2

≤10

≤50

≤1000

微粒数/
（个/L）

0.05μm~0.1μm

500

-

-

-

0.1μm~0.2μm

300

-

-

-

0.2μm~0.3μm

50

-

-

-

0.3μm~0.5μm

20

-

-

-

＞0.5μm

4

-

-

-

细菌个数/（个/mL）

≤0.01

≤0.1

≤10

≤100

铜/（μg/L）

≤0.2

≤1

≤2

≤500

锌/（μg/L）

≤0.2

≤1

≤5

≤500

镍/（μg/L）

≤0.1

≤1

≤2

≤500

钠/（μg/L）

≤0.5

≤2

≤5

≤1000

钾/（μg/L）

≤0.5

≤2

≤5

≤500

铁/（μg/L）

≤0.1

-

-

-

铅/（μg/L）

≤0.1

-

-

-

氟/（μg/L）

≤1

-

-

-

氯/（μg/L）

≤1

≤1

≤10

≤1000

亚硝酸根/（μg/L）

≤1

-

-

-

溴/（μg/L）

≤1

-

-

-

硝酸根/（μg/L）

≤1

≤1

≤5

≤500

磷酸根/（μg/L）

≤1

≤1

≤5

≤500

3、水质检验

1电阻率

电子级水的电阻率按GB/T 11446.4-013进行测定。

2全硅含量（以二氧化硅计）

电子级水全硅（以二氧化硅计）含量按GB/T 11446.6-2013进行测定。

3微粒数

电子级水中微粒数按GB/T 11446.9-2013进行测定。

4细菌总数

电子级水中细菌总数按GB/T 11446.10-2013进行测定。

5痕量金属含量

电子级水中痕量金属的含量按GB/T 11446.5-2013进行测定。

6氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量

电子级水中氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量按GB/T 11446.7-2013进行测定。

7总有机碳含量

电子级水中总有机碳含量按GB/T 11446.8-2013进行测定。