冷场发射扫描电子显微镜是对样品表面形貌进行测试的一种大型仪器。通过样品中的电子激发出的各种信号，扫描电镜可以做出电子图像分析，如可利用二次电子进行样品表面形貌及结构分析的分析；以两片探测器信号做积分运算，通过背散射电子可以分析样品表面成分图像，以两片探测器信号做微分运算时，则可用于样品表面形貌图像的分析；此外，通过透射电子则可对析晶体的内部结构及晶格信息进行分析。
扫描电镜
百检网 2021-11-11
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