场发射扫描电镜

百检网 2021-11-11

分辨率：0.8 nm @ 15kV；1.6 nm @ 1kV 加速电压：0.02-30kV 放大倍率：12-1,000,000X 探针电流：4 pA～20 nA 稳定性: 优于0.2%/h 样品室：330mm(φ）×270mm(h) 样品台：X=130mm Y=130mm Z=50mm T=-3°～+70°R=360°连续可调 *大试样高度：145mm *大试样直径：250mm 附属端口：EDS, EBSD, Cryo和其它低电子束噪声：＜1 %

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