1.真空测量范围可设0-10，100，1000，10000ppm 2.泄漏率<0.02vol%/h 3.电子束偏转角270° 4.阴*电压有6KV，8KV和10KV三挡，面板切换 5.蒸镀双真空腔体样品台都具有可升降，可旋转，水冷式功能 6.旋转曲线调整以1rpm为增量 7.厚度均匀性±3%左右 8.卡盘的旋转速度0-9，999转/分钟，以1转/分为增量
该系统由一个真空操作平台、两台旋转涂布仪、两室电阻热蒸发和电子束嵌套整合一起。该系统可用于钙钛矿太阳能电池制备、氧化物/金属薄膜制备、扫描电镜制样等领域，也可以用于教学及生产线前期工艺实验等，整套系统操作简便，综合功能多，扩展空间大。
1、检测行业全覆盖，满足不同的检测；
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