磁控溅射机

百检网 2021-11-11

1.配置一个1200W的直流电源，带自动切换器，可以自动切换到所有四个溅射靶枪，实现直流溅射； 2.配置一个600W射频电源，自动匹配，可以自动切换到两个靶枪实现射频溅射，并切换到工件台射线射频偏压预清洗（带独立控制器和匹配器）；

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