共聚焦显微镜

百检网 2021-11-11

采用激光作为光源，由激光器发射一定波长激发光，经放大后通过扫描器内的照明针孔光栏形成点光源，成像于计算机上，计算机对所观察的对象进行数字图象处理。

（1）观察分析硅片表面、电池栅线、硅片腐蚀后缺陷等物品外观；

（2）克服光学显微镜景深浅；

（3）对样品大小的局限性限制小；

（4）非接触式、无损伤的进行断层扫描和成像；测量栅线高宽比，检测硅片形貌。

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