配气装置

百检网 2021-11-11

主要技术指标

六路MFC流量控制；流量重复性：≤0.5%；流量线性误差≤±0.3%；配气不确定性≤1%；配气精度为±1%

主要功能/应用范围

用于在CO、CO2、H2、CH4、N2、H2S、NH3等混合标准气体的精确配制

服务内容

无

服务的典型成果

无

对外开放共享规定

无

参考收费标准

按照国家有关规定，经成本核算确定

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