物理化学方法修饰电工电介质材料表面的试验系统

百检网 2021-11-11

该仪器的主要功能包括了以下三个方面：1）采用低能等离子体/霍尔等离子体源对电工电介质进行等离子体清洗刻蚀等操作；2）采用直流、射频磁控溅射电源，通过调控气氛及时间等参数对电工电介质进行磁控溅射镀膜；3）通过外加电源，研究在高真空/高气压环境中电工电介质的绝缘性能。

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