测试项目：能谱分析。
测试目的：定性或定量的对试样微区的元素含量和元素组成进行分析。
项目介绍：当一种高能量电子束作用到一个试样上时会产生X射线，这种X射线随着试样中不同的化学组成（原子类别）特征而具有不同的能量（波长）。每种元素的X射线强度与该元素在试样中的含量相关。本测试正是通过能谱法来检测这些特征X射线的强度来得到元素的组成和含量。能谱分析的特点：无损伤分析，分析速度快。
测试要求：
| 测试标准
| 标准名称
| 样品要求
| 测试内容
| 适用范围
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| GB/T
| 微束分析 能谱法定量分析
| 分析材料应在变化压力下和电子束轰击下稳定。样品测试表面应平整无污染。
| 测定元素含量
| 质量分数高于1%的元素；分析原子序数大于10的元素分析置信度更高
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| ASTM E1508-2012a(2019)
| 能谱法定量分析指南
| 分析材料应在变化压力下和电子束轰击下稳定。样品测试表面应平整无污染。
| EDS测定单质浓度
| 元素含量高于或等于0.1%时分析更快更准确
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