扫描电镜原理
依据电子与物质的相互作用。样品表面加一个强电场，样品表面势垒降低，由于隧道效应，样品金属内部的电子穿过势垒从金属表面发射出来，这种现象称场发射。亮度高约比普通SEM高100倍，分辨率可达10nm.
仪器技术参数
二次电子分辨率: 1.4nm (1 kV，减速模式)
放大倍率: x 20~ x 800,000
电子枪: 冷场发射电子源
送样要求
- 1-5g之间，能把3-5mm直接样品填满即可。块状样品不能大于5mm宽，高度小于5mm.
应用领域
1.金属、非金属及复合材料的观察分析；
2.纳米粉及纳米粉体的形貌观察和粒度测量统计；
3.微区成分的定性、定量计算，并对重点区域做元素分布图；
4.可对固体材料的表面涂层、镀层进行结合情况观察和厚度测量；
5.机械设备、压力容器、管道及汽车零件的失效分析。
适用标准
GB/T 16594-2008微米级长度的扫描电镜测量方法通则
GB/T 17362-2008 黄金制品的扫描电镜X射线能谱分析方法
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