标准号：ASTM D5127-13(2018)
检测标准/方法：用于电子和半导体工业的超纯水的标准指南 ASTM D5127-13(2018)
检测对象：超纯水
检测项目/参数：微颗粒物
说明（限制范围）：只用：液体颗粒计数仪；测量范围：0.5µm～20µm。
ASTM D5127-13(2018)
百检网 2022-08-13
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