标准简介
本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板。英文名称:Hard surface photomask substrates
标准状态:现行
中标分类:电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
ICS分类:31.030
发布部门:国家技术监督局
发布日期:1995-01-02
实施日期:1996-08-01
出版日期:1996-08-01
页数:平装16开, 页数:13, 字数:19千字
前言
加工专用设备相关标准