标准简介
本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。英文名称:Gas for electronic industry-Silane
标准状态:作废
替代情况:被GB/T 15909-2009代替
中标分类:化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类:化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:国家技术监督局
发布日期:1995-01-02
实施日期:1996-08-01
作废日期:2010-05-01
页数:平装16开, 页数:9, 字数:13千字
前言
工业气体与化学气体相关标准