标准简介
本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。英文名称：Gas for electronic industry－Silane
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 15909-2009代替
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1995-01-02
实施日期：1996-08-01
作废日期：2010-05-01
页数：平装16开， 页数：9， 字数：13千字
前言
工业气体与化学气体相关标准
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