标准简介
本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质，提供优化溅射深度剖析参数的指南。英文名称：Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials
标准状态：现行
中标分类：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
ICS分类：化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
发布部门：国家标准化管理委员.
发布日期：2006-03-27
实施日期：2006-11-01
出版日期：2006-11-01
页数：平装16开 页数：19, 字数：30千字
前言
电子光学与其他物理光学仪器相关标准
