标准简介
本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm-500nm的点或线的间距。英文名称：General rules for nanometer-scale lengthmeasurement by SEM
标准状态：现行
中标分类：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
ICS分类：计量学和测量、物理现象>>17.040 长度和角度测量 成像技术>>37.020光学设备
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2006-07-19
实施日期：2007-02-01
出版日期：2007-02-01
页数：17页数：17, 字数：26千字
前言
电子光学与其他物理光学仪器相关标准
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