标准简介
本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化镓、蓝宝石和钆镓石榴石等材料晶片的参考面长度。英文名称：Test method for measuring flat length on slices of electronic materials
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 13387-2009代替
中标分类：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类：29.040.30
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1992-02-19
实施日期：1992-10-01
作废日期：2010-06-01
页数：平装16开， 页数：7， 字数：9000
前言
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