标准简介
本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。英文名称：Silicon on sapphire epitaxial wafers
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
ICS分类：29.040.30
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1992-01-02
实施日期：1993-08-01
出版日期：2004-08-10
页数：平装16开， 页数：8， 字数：12千字
前言
电子技术专用材料相关标准
