标准简介
本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N+)和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+)的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。英文名称：Silicon epitaxial wafers
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 14139-2009代替
中标分类：冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属
ICS分类：29.040.30
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
作废日期：2010-06-01
页数：平装16开， 页数：8， 字数：11千字
前言
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