标准简介
本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。 本标准适用于在直径不大于150 mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。英文名称:Silicon epitaxial wafers
标准状态:现行
替代情况:替代GB/T 14139-2009
中标分类:冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
ICS分类:电气工程>>29.045半导体材料
发布部门:国家市场监督管理总局.
发布日期:2019-06-04
实施日期:2020-05-01
出版日期:2019-06-01
页数:12页
前言
元素半导体材料相关标准