标准简介
本标准规定了用千分尺测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径。 本标准不适用于测量硅片的不圆度。 本标准不作为仲裁测量方法。英文名称：Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Micrometer method
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 14140-2009代替
中标分类：冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属
ICS分类：冶金>>金属材料试验>>77.040.01金属材料试验综合
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
作废日期：2010-06-01
出版日期：1993-10-01
页数：3页
前言
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